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激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点,近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术,可以构建复杂的微纳图案,满足微细加工要求。建立了一套基于计算机控制的激光直写系统,它由光机电和控制软件部分组成。在建立的系统上,以玻璃为基底进行了金光栅的制作并对其进行了形貌测量。测量结果表明,采用该激光直写系统制作的金光栅具有较高的重复精度。