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【摘 要】
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激光直写技术具有加工效率高、加工速度快、环境污染小等优点,近年来在国内的发展非常迅速。采用计算机操纵控制的激光直写技术,可以构建复杂的微纳图案,满足微细加工要求。
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2016年5期
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