【摘 要】
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基于模拟电路的鉴相器虽然响应速度快,但是很难达到较高的精度,并且开发周期长不易优化。为了可以实时检测MEMS器件谐振时微小的相位变化,提出一种基于FPGA的高精度鉴相器。
【机 构】
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中国科学技术大学微电子学院,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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基于模拟电路的鉴相器虽然响应速度快,但是很难达到较高的精度,并且开发周期长不易优化。为了可以实时检测MEMS器件谐振时微小的相位变化,提出一种基于FPGA的高精度鉴相器。该鉴相器主要是由数字混频器、FIR数字滤波器、DDS信号发生器以及模数转换电路组成。鉴相方法是通过将被测信号与一同频、相位可调、且初始相位为90°的参考信号混频,并通过高阶FIR滤波器提取与相位有关的差频信号,调节参考信号相位使得此差频信号趋近于0,则此参考信号的相位调节量即为被测信号的相位。鉴相器的时钟频率为100 MHz,鉴
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