【摘 要】
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在微电子技术与生物医学工程学科发展速度不断提升的过程中,人们对于可以进行精细化操作的微动执行器及其技术的关注度也越来越高.微电子技术中的一系列精密操作、生物医学工
【机 构】
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石家庄工程技术学校,河北 石家庄 050061;燕山大学机械工程学院,河北 秦皇岛 066044
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在微电子技术与生物医学工程学科发展速度不断提升的过程中,人们对于可以进行精细化操作的微动执行器及其技术的关注度也越来越高.微电子技术中的一系列精密操作、生物医学工程中的细胞操作,已经远远超出了人类操作的极限,将机器人技术或者自动化控制技术应用到微米操控领域甚至是纳米操控领域中迫在眉睫.基于此,本文重点针对基于柔性并联机构的微动执行器领域的研究进展进行了分析.
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