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二、金刚石薄膜 CVD(chemical vapour deposition)金刚石具有极其优异的力学、热学、声学、光学、电学、半导体以及化学惰性等性能,作为新金刚石材料80年代问世以来,受到发达国家的高度重视,CVD金刚石技术研究得到较快发展。但是金刚石薄膜在许多领域中的应用产业化技术具有很高的难度,至今尚未真正达到产业化。我国自1987年以来,国家高技术发展计划(863)将CVD金刚石应用技术