真空科学在电子器件中应用的新发展

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真空科学与技术过去曾经是、将来也必然是许多其他有关科学技术赖以发展的核心。由于真空科学技术的不断发展,真空环境、真空检测与诊断、以及真空中机械运动和监控手段不断得到完善和改进,由此必然引起工艺技术的革命性变化。从而产生新的工艺技术来推动其他学科突飞猛进的变改和前进,而这些新型工艺技术的出现和应用,反过来又推动真空科学技术本身的发展,这就是迄今真空科学技术发展的历史。这一点尤其是在电子学方面表现得更为突出。众所周知,真空的发现曾对白炽灯泡的发明起过决定性的作用,接着电真空器 Vacuum science and technology used to be and must be the core of many other relevant scientific and technological developments in the future. Due to the continuous development of vacuum science and technology, vacuum environment, vacuum testing and diagnosis, as well as vacuum mechanical movement and monitoring tools continue to be improved and improved, which will inevitably lead to revolutionary changes in technology. Thus new technology will be produced to promote the rapid change and advancement of other disciplines. The emergence and application of these new technologies will in turn promote the development of vacuum science and technology, which is the history of vacuum science and technology development so far. This is especially true in electronics. It is well known that the discovery of vacuum had played a decisive role in the invention of incandescent light bulbs,
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