【摘 要】
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本文介绍用局部离子束研磨来提高声体波谐振器的基频而制成的工作频率分别为220和230兆赫的铌酸锂(Y+37°)和钽酸锂(X)单片滤波器,这种滤波器的相对带宽为1%,插入损耗约4分贝
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本文介绍用局部离子束研磨来提高声体波谐振器的基频而制成的工作频率分别为220和230兆赫的铌酸锂(Y+37°)和钽酸锂(X)单片滤波器,这种滤波器的相对带宽为1%,插入损耗约4分贝。还制成了基频为270兆赫,Q值为12000的AT切石英谐振器,该谐振器的振动膜片厚6微米,中心部分的直径2.5毫米。
This paper presents a monolithic filter made of lithium niobate (Y + 37 °) and lithium tantalate (X) at 220 and 230 MHz using local ion beam milling to raise the fundamental frequency of the bulk acoustic wave resonator The relative bandwidth of this filter is 1% and the insertion loss is about 4 dB. An AT-cut quartz resonator with a fundamental frequency of 270 MHz and a Q value of 12000 was also manufactured. The resonator diaphragm had a thickness of 6 μm and a central portion of 2.5 mm in diameter.
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本栏文章代表作者个人观点，仅供参考最惊心动魄个股：岁宝热电 岁宝热电也是“电力老四股”之一，在2000年的长牛市中，一直表现不错，体现了老庄股的风范，股价一度摸高至30元以上。
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