【摘 要】
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一、引言1962年 Ramsay 和 Mugridge 研制了一种由陶瓷片和电极叠堆形式(外包环氧树脂)做成的压电机电传感器。它们是作法布里-珀罗干涉仪(和1958年 Dupeyrot 的类似)的机械
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一、引言1962年 Ramsay 和 Mugridge 研制了一种由陶瓷片和电极叠堆形式(外包环氧树脂)做成的压电机电传感器。它们是作法布里-珀罗干涉仪(和1958年 Dupeyrot 的类似)的机械扫描用。从此以后,压电扫描的法布里-珀罗分光计已日益普及,特别因为它们适合于快速的光谱扫描。然而,当使用压电陶瓷作精细的移动控制时,会引起如非线性
I. INTRODUCTION In 1962, Ramsay and Mugridge developed a piezoelectric sensor consisting of ceramic sheets and electrode stacks (encapsulated epoxy). They are used for mechanical scanning of the Fabry-Perot interferometer (similar to the 1958 Dupeyrot). Since then, piezoelectric scanning Fabry-Perot spectroscopy has become increasingly popular, especially since they are suitable for fast spectral scanning. However, the use of piezoceramics for fine motion control can cause problems such as non-linearity
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