【摘 要】
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全息光栅拍频精密测量仪是集稳频激光器、全息光栅、光拍频技术与计算机技术于一体的一种新型精密测量仪器。它具有双频激光干涉测量和光栅测量的优点。本文阐述了该仪器的工
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全息光栅拍频精密测量仪是集稳频激光器、全息光栅、光拍频技术与计算机技术于一体的一种新型精密测量仪器。它具有双频激光干涉测量和光栅测量的优点。本文阐述了该仪器的工作原理、主要结构及误差分析，并给出了测试对比结果。
Holographic grating beat frequency precision measuring instrument is a set of frequency stabilization laser, holographic grating, light beat frequency technology and computer technology in a new type of precision measuring instruments. It has the advantages of dual-frequency laser interferometry and grating measurement. This paper describes the working principle of the instrument, the main structure and error analysis, and gives the test results.
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