【摘 要】
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日本国家计量研究室研制成功显微镜三维坐标测量用的4束激光干涉测量仪,本文阐述了仪器的工作原理、三维坐标的计算方法和实验结果。 采用4束干涉仪可以精确地测量装在载物
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日本国家计量研究室研制成功显微镜三维坐标测量用的4束激光干涉测量仪,本文阐述了仪器的工作原理、三维坐标的计算方法和实验结果。 采用4束干涉仪可以精确地测量装在载物台上角反射镜角点的位置,只用4束干涉仪
Japan National Metrology Laboratory successfully developed four-beam laser interferometer for three-dimensional coordinate measurement of microscope. This article describes the working principle of the instrument, the calculation method of three-dimensional coordinates and the experimental results. The use of four interferometer can accurately measure the angle of the reflector mounted on the stage position, only four interferometer
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