感应等离子弧试验初获进展

来源 :上海有色金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong484
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等离子技术的开发应用,为高温化工过程提供了一个有力的手段。为探索新的多晶硅生产工艺,上海半导体材料厂正进行感应等离子弧用于还原多晶硅的探讨。第一步工作着手进行氩核氢鞘型感应等离子弧的试验,采用组合式油冷石英灯距,国产 GP100—DL2型高频等离子体发生器,已初步实现 Development and application of plasma technology for high temperature chemical process provides a powerful tool. To explore the new polycrystalline silicon production process, Shanghai Semiconductor Materials Factory is conducting induction plasma arc for reducing polycrystalline silicon. The first step to proceed Argon nucleus hydrogen sheath type plasma arc test, the combined use of oil-cooled quartz lamp from the domestic GP100-DL2 type high-frequency plasma generator, has been initially achieved
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