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用红外透射谱和喇曼散射谱研究了退火对Cd1-xZnxTe晶片中Te沉淀的影响，研究结果表明，红外透射谱只对大尺寸的Te沉淀较为敏感，而喇曼散射谱却能够探测到样品中小尺寸的Te沉淀，两者互为补充，在Cd气氛下对晶片进行退火处理，选择合适的退火温度和退火时间，可以有效地消除晶片中大小尺寸的Te沉淀，却难以消除晶片中小尺寸的微量Te沉淀。