与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计

• 作 者: 毛陆虹 粘华 等
• 机 构: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,天津大学电子与信息工程学院
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2002年2期
• 关键词: 光电探测器 器件模拟 CMOS工艺 兼容 设计 photodetector device simulation CMOS process
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6983 60 2 0,698960 2 0 )~~

用器件模拟的方法，设计了一种与常规CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器，该探测器可与CMOS接收机电路单片集成，对该探测器进行了器件模拟研究，给出了该探测器的电路模型。通过MOSIS（MOS implementation support project）0.35umCOMS工艺制做了该探测器，实际测试了该器件的频率响应和波长响应，探测器频率响应在1GHz以上，峰值波长响应在0.69um