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用溶胶－凝胶技术制备了组成在准同型相界点（ｍ（Ｚｒ）／ｍ（Ｔｉ）＝５２／４８）附近的钙钛矿相ＰＺＴ薄膜，并运用原子力显微分析与椭偏法测试相结合的方法跟踪了薄膜的烧结过程，结果表明，钙钛矿相ＰＺＴ（ｍ（Ｚｒ）／ｍ（Ｔｉ）＝５２／４８）薄膜晶化发生于约５５０℃，并伴随着薄膜的表面的粗糙化，镀铂硅基片表面粗糙度对ＰＺＴ薄膜的晶化有很大影响，根据ＡＦＭ，ＸＲＤ测试结果，分析了不同热处理条件对ＰＺＴ薄膜微结