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用10％、15％、20％3种浓度（体积分数）的磷酸分别对ITO玻璃进行处理，四探针测试表明其面电阻基本不变，原子力显微镜观测到酸处理后的ITO表面形貌更加平坦，紫外-可见光光谱显示出磷酸处理几乎不影响可见光透过率；以之为基底制备了典型结构（ITO／TPD／Alq／Al）有机发光二极管（OLEDs），并对其光电性能进行了测试，结果表明在经过浓度为15％的磷酸处理过的ITO玻璃上制备的OLEDs表现出最好的光电性能，其发光最大亮度和发光效率分别是未经酸处理的ITO上器件的近2倍。