【摘 要】
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目的制备性能优良的CeO2纳米粒子抛光液。方法通过使用不同种类及不同浓度的分散剂制备了一种良好的CeO2纳米粒子抛光液,采用激光粒度仪,紫外可见分光光度仪等对其进行了表征
【机 构】
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中南大学机电工程学院,高性能复杂制造国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51275534);湖南省自然科学基金项目(2015JJ2153)~~
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目的制备性能优良的CeO2纳米粒子抛光液。方法通过使用不同种类及不同浓度的分散剂制备了一种良好的CeO2纳米粒子抛光液,采用激光粒度仪,紫外可见分光光度仪等对其进行了表征,进而研究了其在石英玻璃片化学机械抛光中的特性。结果不同分散剂的分散作用不同,且分散剂的浓度直接影响分散效果。离子型分散剂主要通过静电稳定作用实现抛光液的分散稳定,而非离子型分散剂则通过空间位阻作用实现抛光液的分散稳定。阴离子型分散剂与非离子型分散剂的分散稳定效果明显强于阳离子型分散剂,而阴离子型分散剂与非离子型分散剂混合复配后的分散稳定
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