【摘 要】
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利用光热偏转技术对红外窗口材料进行了激光损伤实时研究，通过对硅片、加半反保护膜的硅片和加全反保护膜的硅片的损伤过程的研究，发现介质保护膜能大大提高硅窗口的激光损伤阈
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利用光热偏转技术对红外窗口材料进行了激光损伤实时研究，通过对硅片、加半反保护膜的硅片和加全反保护膜的硅片的损伤过程的研究，发现介质保护膜能大大提高硅窗口的激光损伤阈值，同时发现了全反介质保护膜的激光损伤逐层的破坏过程
In this paper, a real-time laser damage study of IR window material is carried out by using photothermal deflection technology. Through the study on the damage process of the silicon wafer, the silicon wafer with the semi-reverse protective film and the silicon wafer with the all-reverse protective film, it is found that the dielectric protective film can be greatly Increase the laser damage threshold of the silicon window, and at the same time, discover the layer by layer destruction process of the laser damage of the all-anti-dielectric protective film
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