【摘 要】
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本文着重研究了气氛对薄膜结晶性能、铁电性能的影响.结果发现,气体浓度对材料的结晶性以及铁电性能都有明显的影响.当Ar/O_2(mol)为2时,Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3薄膜为单
【机 构】
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本文着重研究了气氛对薄膜结晶性能、铁电性能的影响.结果发现,气体浓度对材料的结晶性以及铁电性能都有明显的影响.当Ar/O_2(mol)为2时,Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3薄膜为单相钙钛矿结构,而且所制得的薄膜的剩余极化P_r、饱和极化P_s以及介电常数最大.
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