【摘 要】
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本文配合阶段性薄膜制备工艺,用有限厚度范围内的转换因子法及模拟薄膜标样的基本参数法,X-射线荧光光谱非破坏测定钇、钡、铜超导薄膜。经我们实验,它们与破坏法ICP相比,A_(
【机 构】
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中科院上海硅酸盐研究所,中科院上海硅酸盐研究所,中科院上海硅酸盐研究所,中科院上海硅酸盐研究所 200050 上海,200050 上海,200050 上海,200050 上海
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本文配合阶段性薄膜制备工艺,用有限厚度范围内的转换因子法及模拟薄膜标样的基本参数法,X-射线荧光光谱非破坏测定钇、钡、铜超导薄膜。经我们实验,它们与破坏法ICP相比,A_((Ba/Y))克原子比的平均绝对偏差分别为0.15与0.065,A_((Cu/Y))克原子比的平均绝对偏差分别为0.14与0.088,模拟薄膜标样的基本参数法优于转换因子法。作者还对薄膜试样非破坏测定中的标样选用进行了探讨。
In this paper, with the help of the step-by-step thin film preparation technology, the yttrium, barium and copper superconducting thin films were determined non-destructively using the conversion factor method with finite thickness and the basic parameters of the simulated film standard. According to our experiments, the average absolute deviations of A _ ((Ba / Y)) g-atom ratio were 0.15 and 0.065 respectively, and the average absolute deviations of A_ (Cu / Y) 0.14 and 0.088, the basic parameters of the simulated film standard method is better than the conversion factor method. The author also discusses the selection of standard samples in nondestructive testing of thin film samples.
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