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从理论和实验上研究了压电微动步进器的运动条件和运动速度，结果表明加在步进器上的电压变化率的临界值不仅限制了步进器的最大运动速度，也决定了步进器的运动条件，所设计的步进器简单、可靠，并采取屏蔽措施，降低了用磁噪声。
压电微动步进器
【摘 要】
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从理论和实验上研究了压电微动步进器的运动条件和运动速度，结果表明加在步进器上的电压变化率的临界值不仅限制了步进器的最大运动速度，也决定了步进器的运动条件，所设计的步进
【机 构】
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南京大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
：
1994年2期
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