Cu-Cr Cu-Ti双层薄膜离子束混合与其电阻和硬度性质

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aa4578

【摘要】

：

借助于透射电子显微镜（TEM）研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr+和350keVXe+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行

【作者】

：

施立群李梅林杨乃恒孙树滋

【机构】

：

合肥工业大学、中国科学院北京真空物理实验室,东北工学院、中国科学院北京真空物理实验室,东北工学院、中国科学院北京真空物理实验室

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

1989年4期

【关键词】

：

离子束混合 CU-CR CU-TI 双层薄膜表面硬度电阻变化混合程度透射电子显微镜注入剂量硬度测量碰撞级联

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借助于透射电子显微镜（TEM）研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr+和350keVXe+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在1017/cm2Ar+注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹,为一

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