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本文介绍了一种离子敏场效应管(ISFET)与库仑滴定分析技术相结合而形成的固态库仑滴定传感器,采和MOSEIC工艺和硅微机机械加工制成了尺寸为6×7mm^2上面含有ISFET敏感元件及执行元件的工作管芯,可对有效滴定体系约为0.2μL的酸碱溶液在30秒内完成库仑滴定分析,其分析结果与常规的容量分析相一致。