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采用化学气相沉积法（CVD法）制备硅膜,尾气为含氢的不定型硅、甲烷、乙烷和未完全反应的乙烯等,这些气体和褐色的不定型硅粉一起从废气中排出.因含有一些易燃易爆的氢及有机气体,导致处理困难.通过采用焚烧炉燃烧的方法,很好地解决了废气粉尘的处理问题.
在线阳光镀膜的废气检测及处理技术
【摘 要】
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采用化学气相沉积法（CVD法）制备硅膜,尾气为含氢的不定型硅、甲烷、乙烷和未完全反应的乙烯等,这些气体和褐色的不定型硅粉一起从废气中排出.因含有一些易燃易爆的氢及有机气体
【机 构】
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中国建材检验认证集团秦皇岛有限公司,中国耀华玻璃集团有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2018年10期
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