【摘 要】
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测量了金-锗-镍(Au-Ge-Ni)对掺杂浓度高于～10~(17)-10~(18)厘米~(-3)的n型Al_(0.4)Ga_(0.6)As及P_(0.4)和GaP的接触电阻率。在热处理之后Au-Ge-Ni对这些材料呈现欧姆接触特性
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测量了金-锗-镍(Au-Ge-Ni)对掺杂浓度高于～10~(17)-10~(18)厘米~(-3)的n型Al_(0.4)Ga_(0.6)As及P_(0.4)和GaP的接触电阻率。在热处理之后Au-Ge-Ni对这些材料呈现欧姆接触特性。也研究了Au-Zn及Al对载流子浓度为～2×10~(19)厘米~(-3)的P型Al_(04)Ga_(0.6)As、GaAs_(0.6)P_(0.4)和GaP的接触电阻。Au-Zn接触可应用于这三种P型材料,但Al接触材料仅推存使用于P型GaAs_(0.6)P_(0.4)。
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