热光调谐滤波器的高温性能分析

• 作 者: 左玉华 毛容伟 李传波 赵雷 蔡晓 成步文 王启明
• 机 构: 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
• 出 处: 半导体学报
• 发表日期: 2005年z1期
• 关键词: 热光效应 FABRY-PEROT 可调谐滤波器 热处理
• 基金项目: 国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000036603),国家自然科学重大基金(批准号:69104003)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312010)资助项目

研究了热处理对Si基热光Fabry-Perot(F-P)腔可调谐滤波器的影响,用原子力显微镜分析了高温热退火前后的器件表面变化.发现随着退火温度的升高,器件的透射峰发生蓝移,同时透射峰强度及DBR(distributed Braggreflector)反射率下降.透射峰蓝移是非晶硅和SiO2致密后折射率增大而厚度减小,最终导致DBR中心波长偏短所致;DBR反射率下降和透射峰强度的下降是高温下表面和界面变得起伏较大所致.