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摘要：由于单晶炉拉制单晶棒时需要的是：高温、高真空度的环境 ，因此单晶炉的真空维护也是单晶炉正常生产的重中之重 。
关键词：单晶炉;真空维修;应急
一、下面簡略述叙一下我的单晶炉真空维修经验，总结了以下几点：1漏水：2静态漏气：3动态漏气。
1、漏水
漏水是真空维修中占比例最大的维修项目。很简单也较易撑握。一般判别方法是：真空抽到一定程度时发生反弹回升，这时可大致判别为漏水，当然并不是所有反弹都可坐归根为漏水。例如真空泵存在问题，密封圈漏气，以及我后面提到的动态漏气等等，都可能存在真空计压力反弹回升。漏水大多明显易找，但有些漏点却寻找比较困难，尤其隐蔽的地方，常年不拆卸的地方。查找起来非常困难，让维修工走了不少弯路，甚是头痛。一般这些比较隐蔽，让人不易想到，如排气管道内壁漏水，坩埚轴漏水，翻盖阀转轴漏水，副室筒以及提拉头内壁漏水等等，当然这些反弹的幅度较大。这些要做到快速判断则需要平日的经验积累和缜密的思考合理的分析。例如一例排气管内壁漏水，拉出的晶棒并无肉眼能直观看到的颜色变化，但拆炉检漏时漏气严重，压力有漏水时表现的反弹特征。但却始终找不到。针对此现象可以做出仔细分析：首先晶棒无明显不正常，大致在炉盖以下，则可重点对上下炉筒，两侧排气管道，坩埚轴这些部分进行查找。上下炉筒显而易见比较容易查找，查找无果则基本可判断排气管有漏水（坩埚轴部分很难漏水），则可对排气管逐一堵塞判断。
2、静态漏气
静态漏气也是较常见的一种。可分为密封圈烧毁老化漏气，金属软管漏气，真空泵漏气，球阀漏气，人为操作导致漏气等等。这种漏气检修常用方法是用酒精浇之，浇到漏气之处真空计压力会有明显的上升或下降变动。要快速找到漏气点主要依据是平时多积累多总结，因为这些漏点不像漏水看得见，它是看不见摸不着的需要对常漏的地点归纳总结。针对人为原因一定要先问清再下手以防走弯路。
3、动态漏气
动态漏气指机器静态时真空良好，运转起来就漏气，这类属于软故障。如磁流体漏气，真空泵热性能差漏气，出A，B棒时对机器操作时漏气等等。这类漏气发生相对较少，维修也不难，你动我也动，就让机器该运动的地逐一动起来，那部分在动时真空计压力有明显上升或下降变化，则该部分就可能存在漏气。但是这类漏气有时也不易寻找。它在某些炉台中只足偶尔有发生。不可捉模，维修时需要长时间观察耐心推断。
另外还有一点倒气除了人为操作还和真空泵性能不好，排气不畅，热场系统不合理有着直接关系，这也导致晶棒氧化。
二、单晶炉应急、异常事故处理方法及注意事项
突发状况 ，有以下几点：停电、断水引起漏硅：当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危机人员安全和引起重大财产损失的事故了。
（一）单晶炉突然停电：
1.首先马上通知变电所立即启用柴油发电机或循环水启动冷却水备用泵，要保证炉内冷却水循环正常，送水后同操作工注意水压变化情况上报段长及相关部门，同时也做好来电时的抢救工作。各炉台操作工处理好自己的炉台。注意：每人必须会操作培训演练
2.若炉子运行部分加热或控制断电：首先手动启动主泵（防止炉内氧化严重或常压）其次本机给加热以防结晶，按照使用说明及操作流程逐一排查设备故障点。
（二）单晶炉突然断水：
1、先要关闭加热功率，降低堝位升籽晶询问循环系统是否正常工作及水压表的变化及时找出原因可在。
2、冷却水管破裂漏水：冷却水管爆裂和脱落的主要原因：1.水管帮扎松动或损坏2.水压压力太高3.水管本就损坏或老化。水管爆裂和脱落主要发生在炉体的某部位运动中，即停炉后应及时关闭冷却水阀门方可更换邦扎水管，切记一定要将关闭的水阀打开！打开！以防出现大事故。
3、主泵抱死皮带松动或断裂 ：这就要我们多巡检发现问题及时处理或上报，因为主泵抱死或皮带断裂，将会引起严重的后果无法拉制单晶，炉压也会成为常压。
4、晶棒掉落 ：1.籽晶、石墨夹头断裂、2、钢丝绳断裂。
日常状况，有以下几点：
4.1水温过高报警：在拉制单晶过程中，我们有时会发现水温报警其处理方法：水温高排水排气，或水管堵赛疏通水管。水温测量模块坏或接线松动。（电极水温报警及其最为重要）
4.2炉压过高报警：真空泵油太脏或油位少、真空管道太脏需清理、真空计清洗或检查、主泵本身就存在问题可更换、下轴波纹管有漏气情况。
4.3晶晃和液抖过大问题：晶晃和液抖这俩种情况发生在拉晶过程中的各阶段：引晶、等晶、收尾甚至稳定产生液抖。其产生的原因有很多，主要有：
1）钢丝绳老化，下轴和提拉头部位水平对中不行，2）坩埚轴、丝杆、轨道有问题;3）传动部件有问题; 4）外部引来的震动;5）热场、气流的影响; 6）炉内坩埚和石墨锅绑刮蹭，连杆松动等;7）阻尼套、导轮及轴承、侧压轮、上压轮检查;8）晶转磁流体问题。
针对以上原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。
4.4极限真空抽不下去的问题：拉制过程中，会发生一炉正常，而下一炉真空抽不下去的现象这是由于：
1）真空管道有泄漏
2）抽到极限后炉压缓慢上涨可能真空有问题或炉内有漏水情况
3）单晶炉某个密封部件未有装好
4）主室球阀内漏
5）波纹管道有漏气
4.5液压泵的问题：当主炉室、炉盖、副室升不起、降不下来、速度太快或太慢时我们首先要查看个限位是否正常，然后排除电气故障最后就是液压泵得问题了，其原因有：1.缺油或漏油、2.油位太高、3.油管有空气可排气
三、单晶炉维修维护的安全事项：
1、炉体内，维修维护时必须打开炉盖上升主炉室偏移适合位置，是维修操作空间敞开状态，避免维修人员处于缺氧状态工作造成氩气窒息。
2、禁止维修人员处于液压升降部件如：炉盖、主炉室下方以免液压控制失灵造成人生伤害，如确需要在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不造成人员伤亡。
3、积极配合好操作工处理好炉子出现的问题，保证设备运转完好。
4、设备维修完毕后应当面与操作工做好交接工作做好维修记录。
5、维修完毕拆下的零配件应做好标识，一定要送到规定的地方。
6、两人或以上维修时注意相互配合和提醒搬运重物时注意别闪着腰或砸到手脚。
7、在设备下面工作室应戴好安全帽，站起来应慢慢起来，同时注意顶部和周围以防碰伤。
关键词：单晶炉;真空维修;应急
一、下面簡略述叙一下我的单晶炉真空维修经验，总结了以下几点：1漏水：2静态漏气：3动态漏气。
1、漏水
漏水是真空维修中占比例最大的维修项目。很简单也较易撑握。一般判别方法是：真空抽到一定程度时发生反弹回升，这时可大致判别为漏水，当然并不是所有反弹都可坐归根为漏水。例如真空泵存在问题，密封圈漏气，以及我后面提到的动态漏气等等，都可能存在真空计压力反弹回升。漏水大多明显易找，但有些漏点却寻找比较困难，尤其隐蔽的地方，常年不拆卸的地方。查找起来非常困难，让维修工走了不少弯路，甚是头痛。一般这些比较隐蔽，让人不易想到，如排气管道内壁漏水，坩埚轴漏水，翻盖阀转轴漏水，副室筒以及提拉头内壁漏水等等，当然这些反弹的幅度较大。这些要做到快速判断则需要平日的经验积累和缜密的思考合理的分析。例如一例排气管内壁漏水，拉出的晶棒并无肉眼能直观看到的颜色变化，但拆炉检漏时漏气严重，压力有漏水时表现的反弹特征。但却始终找不到。针对此现象可以做出仔细分析：首先晶棒无明显不正常，大致在炉盖以下，则可重点对上下炉筒，两侧排气管道，坩埚轴这些部分进行查找。上下炉筒显而易见比较容易查找，查找无果则基本可判断排气管有漏水（坩埚轴部分很难漏水），则可对排气管逐一堵塞判断。
2、静态漏气
静态漏气也是较常见的一种。可分为密封圈烧毁老化漏气，金属软管漏气，真空泵漏气，球阀漏气，人为操作导致漏气等等。这种漏气检修常用方法是用酒精浇之，浇到漏气之处真空计压力会有明显的上升或下降变动。要快速找到漏气点主要依据是平时多积累多总结，因为这些漏点不像漏水看得见，它是看不见摸不着的需要对常漏的地点归纳总结。针对人为原因一定要先问清再下手以防走弯路。
3、动态漏气
动态漏气指机器静态时真空良好，运转起来就漏气，这类属于软故障。如磁流体漏气，真空泵热性能差漏气，出A，B棒时对机器操作时漏气等等。这类漏气发生相对较少，维修也不难，你动我也动，就让机器该运动的地逐一动起来，那部分在动时真空计压力有明显上升或下降变化，则该部分就可能存在漏气。但是这类漏气有时也不易寻找。它在某些炉台中只足偶尔有发生。不可捉模，维修时需要长时间观察耐心推断。
另外还有一点倒气除了人为操作还和真空泵性能不好，排气不畅，热场系统不合理有着直接关系，这也导致晶棒氧化。
二、单晶炉应急、异常事故处理方法及注意事项
突发状况 ，有以下几点：停电、断水引起漏硅：当单晶炉出现这种现象时，已经是属于严重的会危机人员安全和引起重大财产损失的事故了。
（一）单晶炉突然停电：
1.首先马上通知变电所立即启用柴油发电机或循环水启动冷却水备用泵，要保证炉内冷却水循环正常，送水后同操作工注意水压变化情况上报段长及相关部门，同时也做好来电时的抢救工作。各炉台操作工处理好自己的炉台。注意：每人必须会操作培训演练
2.若炉子运行部分加热或控制断电：首先手动启动主泵（防止炉内氧化严重或常压）其次本机给加热以防结晶，按照使用说明及操作流程逐一排查设备故障点。
（二）单晶炉突然断水：
1、先要关闭加热功率，降低堝位升籽晶询问循环系统是否正常工作及水压表的变化及时找出原因可在。
2、冷却水管破裂漏水：冷却水管爆裂和脱落的主要原因：1.水管帮扎松动或损坏2.水压压力太高3.水管本就损坏或老化。水管爆裂和脱落主要发生在炉体的某部位运动中，即停炉后应及时关闭冷却水阀门方可更换邦扎水管，切记一定要将关闭的水阀打开！打开！以防出现大事故。
3、主泵抱死皮带松动或断裂 ：这就要我们多巡检发现问题及时处理或上报，因为主泵抱死或皮带断裂，将会引起严重的后果无法拉制单晶，炉压也会成为常压。
4、晶棒掉落 ：1.籽晶、石墨夹头断裂、2、钢丝绳断裂。
日常状况，有以下几点：
4.1水温过高报警：在拉制单晶过程中，我们有时会发现水温报警其处理方法：水温高排水排气，或水管堵赛疏通水管。水温测量模块坏或接线松动。（电极水温报警及其最为重要）
4.2炉压过高报警：真空泵油太脏或油位少、真空管道太脏需清理、真空计清洗或检查、主泵本身就存在问题可更换、下轴波纹管有漏气情况。
4.3晶晃和液抖过大问题：晶晃和液抖这俩种情况发生在拉晶过程中的各阶段：引晶、等晶、收尾甚至稳定产生液抖。其产生的原因有很多，主要有：
1）钢丝绳老化，下轴和提拉头部位水平对中不行，2）坩埚轴、丝杆、轨道有问题;3）传动部件有问题; 4）外部引来的震动;5）热场、气流的影响; 6）炉内坩埚和石墨锅绑刮蹭，连杆松动等;7）阻尼套、导轮及轴承、侧压轮、上压轮检查;8）晶转磁流体问题。
针对以上原因我们要一步一步的检查、重新调试好炉子。
4.4极限真空抽不下去的问题：拉制过程中，会发生一炉正常，而下一炉真空抽不下去的现象这是由于：
1）真空管道有泄漏
2）抽到极限后炉压缓慢上涨可能真空有问题或炉内有漏水情况
3）单晶炉某个密封部件未有装好
4）主室球阀内漏
5）波纹管道有漏气
4.5液压泵的问题：当主炉室、炉盖、副室升不起、降不下来、速度太快或太慢时我们首先要查看个限位是否正常，然后排除电气故障最后就是液压泵得问题了，其原因有：1.缺油或漏油、2.油位太高、3.油管有空气可排气
三、单晶炉维修维护的安全事项：
1、炉体内，维修维护时必须打开炉盖上升主炉室偏移适合位置，是维修操作空间敞开状态，避免维修人员处于缺氧状态工作造成氩气窒息。
2、禁止维修人员处于液压升降部件如：炉盖、主炉室下方以免液压控制失灵造成人生伤害，如确需要在上述部件下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部件来支撑因故障时升降部件的下坠而不造成人员伤亡。
3、积极配合好操作工处理好炉子出现的问题，保证设备运转完好。
4、设备维修完毕后应当面与操作工做好交接工作做好维修记录。
5、维修完毕拆下的零配件应做好标识，一定要送到规定的地方。
6、两人或以上维修时注意相互配合和提醒搬运重物时注意别闪着腰或砸到手脚。
7、在设备下面工作室应戴好安全帽，站起来应慢慢起来，同时注意顶部和周围以防碰伤。