【摘 要】
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3 智能温度传感器rn智能温度传感器的温度传感单元具有包含MEMS结构的多种类型,如MEMS谐振器、NT、CMOS、热敏电阻和光纤等,广泛应用于生物信号提取、环境监测和芯片内的过热
【机 构】
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中国电子科技集团公司,北京 100846;专用集成电路重点实验室,石家庄 050051
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3 智能温度传感器rn智能温度传感器的温度传感单元具有包含MEMS结构的多种类型,如MEMS谐振器、NT、CMOS、热敏电阻和光纤等,广泛应用于生物信号提取、环境监测和芯片内的过热保护等方面.智能温度传感器的设计必须考虑各种要求的差异,如分辨率、精度、微调点的数量、面积、转换时间和能源效率.在不同的应用中需要强调的问题是不同的.例如,高温性能频率参考源的在片温度补偿,高温度分辨率是基本要求,使得频率源的抖动噪声最小化,而对温度精度的要求可以放宽为中等级.
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