【摘 要】
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美国桑地亚试验所金利和西格尔采用等离子法处理多晶硅,使硅的导电率提高了一百多倍,从而获得了一种制造太阳能电池的较好材料。此工艺已在檀香山召开的 ACS/CSJ 化学学会上
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美国桑地亚试验所金利和西格尔采用等离子法处理多晶硅,使硅的导电率提高了一百多倍,从而获得了一种制造太阳能电池的较好材料。此工艺已在檀香山召开的 ACS/CSJ 化学学会上发表。被称为钝化的该处理法是采用一个电正性元素的等离子体处理多晶硅。到目前为止氢和镁等离子
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