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介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标.
太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨
【摘 要】
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介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙,410111UAE Fujairah Ishan能源公司，印度;
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年6期
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