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本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。更多还原
准分子激光直接切割金刚石薄膜的技术研究
【摘 要】
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本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。更多还原
【机 构】
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吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点联合实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年2期
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