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本文叙述了一种可使激光束在二维空间进行μm量级扫描的装置。重点讨论了该装置中的微机控制步进电机细分的新设计思想和具体实施方案,并给出了在基片上激光束镀铜线的实验结果。
微机精密控制二维激光扫描装置的设计与实验
【摘 要】
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本文叙述了一种可使激光束在二维空间进行μm量级扫描的装置。重点讨论了该装置中的微机控制步进电机细分的新设计思想和具体实施方案,并给出了在基片上激光束镀铜线的实验结
【机 构】
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浙江大学光仪系,清华大学精仪系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1989年1期
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