【摘 要】
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用电位动态测量法测定了TiC膜的腐蚀性能。这种TiC是在C_2H_2直流放电存在下于400℃和10~(-3)托由钛的电子束蒸发构成的活化反应蒸发按O.22g/min沉积于石英基体上。在绝缘基
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用电位动态测量法测定了TiC膜的腐蚀性能。这种TiC是在C_2H_2直流放电存在下于400℃和10~(-3)托由钛的电子束蒸发构成的活化反应蒸发按O.22g/min沉积于石英基体上。在绝缘基体上生长的TiC
The corrosion behavior of TiC film was measured by potentiodynamic method. This kind of TiC was deposited on quartz substrate by O.22g / min by the activation reaction evaporation consisting of electron beam evaporation of titanium at 400 ℃ and 10 ~ (-3) Torr in the presence of C_2H_2 DC discharge. TiC grown on an insulating substrate
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