【摘 要】
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1 简介 现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求。随着这一领域的快速发展 ,已为微小光学元件的制造、复制和后期加工研制出许多方法 ,包括电
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1 简介 现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求。随着这一领域的快速发展 ,已为微小光学元件的制造、复制和后期加工研制出许多方法 ,包括电子束刻蚀、光刻蚀、铸模、钻石切削和其它技术。这些不同的方法几乎可以获得任何所需要的光学表面结构 ,
1 Introduction Nowadays, various industries have strong demand for diffractive, refractive and hybrid micro-optics. With the rapid growth in this area, many methods have been developed for the fabrication, replication, and finishing of minute optical components, including electron beam lithography, photolithography, mold casting, diamond cutting, and other technologies. These different approaches make it possible to obtain almost any desired optical surface structure,
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