微粒定位技术研究

• 作 者: 刘国荣 李井怀 李静 郭士伦 王林博 李安利
• 机 构: 中国原子能科学研究院放射化学研究所
• 出 处: 原子能科学技术
• 发表日期: 2006年4期
• 关键词: 微粒 定位 扫描电镜 二次离子质谱仪 μm-size particle re-location SEM SIMS

在直径25mm的石墨垫上镀膜或粘贴制作微定位标记，进行SEM—SEM、SIMS-SIMS、SEM—SIMS之间的微粒定位。SEM—SEM之间的微粒定位偏差约为10μm，而SEM—SIMS和SIMS-SIMS之间的微粒定位精度偏差约为15μm。实验表明：粘贴制作微定位标记和矩阵定位算法的组合是一种简便、适应性强、成本低和有效的微粒定位和再定位方法。