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提出并实现了以分段分类思想为基础的掩模版优化算法，它是一种基于模型的光学邻近效应方法．该算法具有矫正精度高、灵活性强和矫正效率较高的特点，适合于版图中关键图形的矫正．实验表明，该优化算法可以实现矫正功能并且具有很好的矫正效果．
成品率驱动下基于模型的掩模版优化算法
【摘 要】
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提出并实现了以分段分类思想为基础的掩模版优化算法，它是一种基于模型的光学邻近效应方法．该算法具有矫正精度高、灵活性强和矫正效率较高的特点，适合于版图中关键图形的矫正．实
【机 构】
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清华大学计算机科学与技术系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年3期
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