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本文以等离子在低温低压情况下的清洗原理为基础,介绍了不同正负电极板在箱式等离子清洗机设备中所发挥的作用。并通过特制不锈钢片在等离子清洗前后的水滴角检测进行对比试验,以找到一种更高效的清洗效果为目的,对电极板部分机械进行改进以满足更高的工艺要求。本文的研究结论对提高等离子清洗速率及均匀性提供了一定的改进方向。