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传统的陶瓷膜（金属氧化物、金属碳化物以及金属氮化物）通常被认为是硬质材料。然而，许多证据表明，陶瓷膜的软和硬取决于原子和分子级键合相互作用以及微观结构。当陶瓷膜变得极薄时，比如陶瓷纳米膜，它们实际上为软物质。本文中，作者讨论了影响材料在不同尺度范围内的软硬性的几种可能因素，同时综述了作者及其他研究者的近期工作，这些工作提供了有关金属氧化物纳米膜和无机层状材料是软物质的证据。