【摘 要】
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一、引言半导体的轮廓显示常采用染色、腐蚀及镀膜技术。迄今为止，这项工作只有凭经验，人们对试样的研究越多，就变得越精通。随着半导体工艺及VI石1技术的发展，结做得越来越浅，而
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡214035,中国华晶电子集团公司中央研究所!无锡214035
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一、引言半导体的轮廓显示常采用染色、腐蚀及镀膜技术。迄今为止，这项工作只有凭经验，人们对试样的研究越多，就变得越精通。随着半导体工艺及VI石1技术的发展，结做得越来越浅，而浅结及低浓度掺杂区的显示难度较大，分辨率较差。正因为难度较大，所以我们对此进行了一些实
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