【摘 要】
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前言薄膜的均匀性是薄膜最重要的指标之一，在薄膜生产中，对薄膜的厚度适时检测，并进行闭环控制，才能得到均匀性能好的薄膜。如果测厚仪的测量数据不准确或者工作状态不稳定，则会造
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前言薄膜的均匀性是薄膜最重要的指标之一，在薄膜生产中，对薄膜的厚度适时检测，并进行闭环控制，才能得到均匀性能好的薄膜。如果测厚仪的测量数据不准确或者工作状态不稳定，则会造成薄膜的质量不稳定，同时也会导致系统控制产生振荡，长时间处于非正常调节状态，严重时会
Preface The uniformity of the film is one of the most important indicators of the film. In the production of the film, the thickness of the film is timely detected and the closed-loop control is performed to obtain the film with good uniformity. If the thickness gauge measurement data is not accurate or unstable working conditions, it will result in the quality of the film is not stable, but also lead to system control oscillation, a long time in a non-normal regulation, will be severe
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