【摘 要】
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自 8 0年代中期研制成原子力显微镜 (AFM)以来 ,它已走过了一段很长的历程 ,重复性和稳定性都有较大进展。美国家标准技术研究院的工程师发展了用干涉仪定标的原子力显微镜 ,
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自 8 0年代中期研制成原子力显微镜 (AFM)以来 ,它已走过了一段很长的历程 ,重复性和稳定性都有较大进展。美国家标准技术研究院的工程师发展了用干涉仪定标的原子力显微镜 ,使这种技术达到一个新水平。参加定标原子力显微镜开发的该院计量学家R.Dixson说 ,“早期仪器在定标方
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