【摘 要】
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第五届MEMS(Micho Electro Mechanical Systerns)国际学术研讨会于1992年2月在德国兰弗姆德召开。出席会议的专家、学者近250人,其中来自西欧175人(德国110人),日本45人,美国
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第五届MEMS(Micho Electro Mechanical Systerns)国际学术研讨会于1992年2月在德国兰弗姆德召开。出席会议的专家、学者近250人,其中来自西欧175人(德国110人),日本45人,美国30人,我国国家科委第一次组团参加会议,我院杨宜民老师是代表团的代理团长。关于 MEMS 的研究,美国、日本在80年代初期就已提出,为了适应研究形势的发展近几年来每年召开一次 MEMS 国际学术研讨会,进行学术讨论和交流。
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