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双束合成低能离子束外延设备的研制

来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenjiechn

【作者】

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【出处】

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四川真空

【发表日期】

：

1990年3期

【关键词】

：

离子束外延设备合成半导体薄膜

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