【摘 要】
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日本,新近研制出一种金属探针式磁场扫描光学显微镜。这种显微镜可用一个半径为0.1mm的金属探针对物体外部轮廓进行测量,其测量精度为10nm。 由电电池驱动金属探针产生振荡,
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日本,新近研制出一种金属探针式磁场扫描光学显微镜。这种显微镜可用一个半径为0.1mm的金属探针对物体外部轮廓进行测量,其测量精度为10nm。 由电电池驱动金属探针产生振荡,使之与被测物体表面距离发生变化。这些细微的变化通过电磁场转换为光信号。散乱的光信号转换为探针的振幅,被安装在聚
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