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探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺制作的要求和思考。
MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析
【摘 要】
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探讨了包括标准LIGA技术,UV-LIGA技术在内的MEMS引信部件的制作方法,给出了使用现有LIGA技术加工MEMS引信部件的流程、存在的问题以及解决方案,对MEMS引信设计提出了基于工艺
【机 构】
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南京理工大学机械工程学院,中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2008年5期
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