【摘 要】
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本文报导高性能三波段Hg_(1-x)Cd_xTe光伏探测器的制作工艺和特性。在77K分别测得上部、中间及底部元件在1～2、3～5及8～12微米波段的峰探测度为1.2×10~(12)、9.7×10~(11)及5.3
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本文报导高性能三波段Hg_(1-x)Cd_xTe光伏探测器的制作工艺和特性。在77K分别测得上部、中间及底部元件在1～2、3～5及8～12微米波段的峰探测度为1.2×10~(12)、9.7×10~(11)及5.3×10~(10)厘米·赫~(1╱2)瓦~(-1)。在峰值波长时,外量子效率为75％、62％及51％。
This paper reports the fabrication process and characteristics of a high-performance three-band Hg_ (1-x) Cd_xTe photovoltaic detector. The peak detections of the upper, middle and bottom components measured at 77K were 1.2 × 10 ~ (12), 9.7 × 10 ~ (11) and 5.3 × 10 ~ (10) cm He ~ (1 ╱ 2) watts ~ (-1). At the peak wavelength, the external quantum efficiencies are 75%, 62% and 51%.
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