【摘 要】
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碳化硅(SiC)PiN二极管是应用在高压大功率整流领域中的一种重要的功率二极管.受SiC外延材料的载流子寿命限制以及常规SiC PiN二极管较低的阳极注入效率的影响,SiC PiN二极管
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054
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碳化硅(SiC)PiN二极管是应用在高压大功率整流领域中的一种重要的功率二极管.受SiC外延材料的载流子寿命限制以及常规SiC PiN二极管较低的阳极注入效率的影响,SiC PiN二极管的正向导通性能较差,这极大限制了其在高压大电流领域的应用.文章提出了一种带P型埋层的4H-SiC PiN二极管,较常规SiC PiN二极管增强了阳极区的少子注入效率,降低了器件的导通电阻,增大了正向电流.仿真结果表明,当正向偏压为5V时,引入P型埋层的SiC PiN二极管的正向电流密度比常规SiC PiN二极管提升了52.8％.
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