The influence of RF power on the electrical properties of sputtered amorphous InGa-Zn-O thin films a

来源 :Journal of Semiconductors | 被引量 : 0次 | 上传用户：anonyjim

【摘要】

：

<正>The influence of radio frequency(RF) power on the properties of magnetron sputtered amorphous indium gallium zinc oxide(a-IGZO) thin films and the related t

【作者】

：

施俊斐董承远戴文君吴杰陈宇霆詹润泽

【机构】

：

CenterforOpto-ElectronicMaterialsandDevices,InfovisionOptoelectronics（Kunshan）Co.

【出处】

：

Journal of Semiconductors

【发表日期】

：

2013年8期

【关键词】

：

amorphous magnetron indium sputtering crystalline roughness transmittance transi

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<正>The influence of radio frequency(RF) power on the properties of magnetron sputtered amorphous indium gallium zinc oxide(a-IGZO) thin films and the related thin-film transistor(TFT) devices is investigated comprehensively.A series of a-IGZO thin f

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