【摘 要】
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自从集成电路问世以来,集成电路工业迅猛发展,成为发展最快的一项工业.集成度作为衡量集成电路发展的指标之一,基本上遵循着著名的摩尔定律,即集成度每18个月翻一番.集成度的
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自从集成电路问世以来,集成电路工业迅猛发展,成为发展最快的一项工业.集成度作为衡量集成电路发展的指标之一,基本上遵循着著名的摩尔定律,即集成度每18个月翻一番.集成度的不断提高,要求器件尺寸不断的缩小,而且这种发展的速度又是以指数的形式倍增的,这样快速的发展下去总会有个极限.在器件特征尺寸的不断缩小过程中,许多问题凸显出来,特别是当MOS的发展进入纳米时代(100nm以下)后,更多的更难解决的问题成为MOS发展的障碍,所以有很多人开始怀疑摩尔定律会不会失效,而硅工业的发展是不是也即将走到尽头.
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