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离子注入及相关工艺在半导体业,尤其在CMOS生产中起着极其重要的作用。随着线宽的变窄,并迈向0.1μ甚至更细,离子注入就更显其重要性,并对其工艺和设备的要求越来越高,与离子注入相关的工艺及串线与整合,包括固胶,注入,去胶及退火,就有其必要性。下面将介绍其工艺及整合。
离子注几及相关工艺之整合
【摘 要】
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离子注入及相关工艺在半导体业,尤其在CMOS生产中起着极其重要的作用。随着线宽的变窄,并迈向0.1μ甚至更细,离子注入就更显其重要性,并对其工艺和设备的要求越来越高,与离子
【机 构】
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亚舍立科技（Axcelis）公司,亚舍立科技（Axcelis）公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年3期
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