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采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备了TiO2-SiO2复合薄膜. 利用高温显微镜、SEM、红外光谱(IR)和分光光度计，研究了SiO2添加量和镀膜层数对润湿角、薄膜微结构、透过率、光催化活性的影响. 结果表明：通过在TiO2薄膜中加入SiO2，能显著降低薄膜的润湿角，超亲水性状态可以保持很长时间. 低于30% SiO2添加量(以摩尔分数计)，在煅烧过程中对TiO2锐钛矿相晶粒生长有抑制作用，同时，光透过率提高，光催化活性有所下降. 在薄膜中， TiO2和SiO2分别单独形成颗粒，但有少量Ti—O—Si键形