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采用无催化剂辅助化学气相沉积法，以无水AlCl3、NH3气和无水CaCl2分别作为Al源、N源和Ca源，首次获得Ca掺杂AlN纳米棒阵列。纳米棒的长度约为几百纳米，直径为200-500nm。能谱（EDS）证明Ca掺杂的原子分数约为4．4％；光致发光光谱（PL）表明N空位引起在359nm的发光中心；在磁性能测试中观察到明晰的磁滞回线，表明样品具有室温铁磁性。